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会议论文 HfO2薄膜的制备与光学性能
出处:第六届中国功能材料及其应用学术会议
摘要:采用射频磁控反应溅射法,以高纯热压HfO2陶瓷为靶材,在Si衬底上成功制备出HfO2薄膜。系统研究了工艺参数对... 显示全部
关键词: 射频磁控反应溅射法 薄膜 热压 陶瓷 沉积速率 光学性能
会议论文 复合添加剂对四羟丙基乙二胺-乙二胺四乙酸二钠体系化学镀厚铜的影响
出处:第五届全国青年印制电路学术年会
摘要:  在四羟丙基乙二胺(THPED)—乙二胺四乙酸二钠(EDTA·2NA)化学镀铜体系中,考察了2,2’-联吡啶(BPY)、亚... 显示全部
关键词: 化学镀厚铜 四羟丙基乙二胺 沉积速率 复合添加剂 稳定性
会议论文 氢化微晶硅薄膜的VHF-PECVD法制备与等离子体诊断
出处:第九届中国太阳能光伏会议
摘要:采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,在不同等离子体激发频率条件下制备了氢化微晶硅(μc-... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 化学气相沉积 等离子体诊断 沉积速率 结构特性
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