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会议论文 衬底承载盘高速旋转振动补偿预测建模研究
出处:2017第十九届中国科协年会
摘要:针对MOCVD设备中衬底承载系统受到热、流场及其材料本构等因素耦合影响,容易发生振动或颤振导致产品合格率... 显示全部
关键词: 旋转承载盘 [8329328]C均值聚类 振动补偿建模
会议论文 衬底承载盘高速旋转振动补偿预测建模研究
出处:第十九届中国科协年会——分5“智能制造引领东北工业基地振兴”交流研讨会
摘要:针对MOCVD设备中衬底承载系统受到热、流场及其材料本构等因素耦合影响,容易发生振动或颤振导致产品合格率... 显示全部
关键词: 旋转承载盘 [8329328]C均值聚类 振动补偿建模
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