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会议论文 高方阻AZO透明导电薄膜的制备和光电特性
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:采用磁控溅射法,在硅和玻璃基片上制备了AZO(ZNO:AL)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、紫外/可见光分光光度... 显示全部
关键词: 光电特性 磁控溅射法 导电薄膜 透明薄膜 微观结构
会议论文 ITO透明导电薄膜的低温直流磁控反应溅射
出处:1998年中国材料研讨会
摘要:该文利用直流磁控反应溅射铟锡合金靶在未加热的聚脂膜、玻璃和硅衬底上制备了ITO透明导电薄膜。研究了... 显示全部
关键词: 磁控溅射 导电薄膜 透明导电薄膜
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