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会议论文 微波ECR等离子体增强磁控溅射多晶硅薄膜研究
出处:第十五届全国等离子体科学技术会议
摘要:<正>多晶硅薄膜是制备多晶硅薄膜光伏电池的关键器件,其在长波段具有高光敏性,对可见光能有效吸收,且具有与... 显示全部
关键词: 微波 磁控溅射 多晶硅薄膜
会议论文 氢等离子体处理法晶化a-Si:H薄膜的FT-IR谱和Raman谱的研究
出处:中国第七届光伏会议
摘要:利用氢等离子体处理晶化a-Si:H薄膜,对晶化后的样品进行X射线衍谱(XRD)、傅里叶变换红外吸收谱(FT-IR)和Ram... 显示全部
关键词: 键合模式 多晶硅薄膜 氢等离子体处理法
会议论文 多晶硅薄膜的制备与表征
出处:中国第七届光伏会议
摘要:以多晶硅片为衬底,在快热化学气相沉积(RTCVD)设备上,通过外延生长的方式制得多晶硅薄膜,并利用扫描电镜(SE... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 化学气相沉积 颗粒硅带 外延生长 薄膜制备 形貌结构
会议论文 多晶桂薄膜的启动微摩擦特性研究
出处:第四届全国微米/纳米技术学术会议
摘要:在微型机电系统中元件之间会产生接触,因此磨损将影响到系统的寿命,摩擦和粘滑还会影响到装置的工作可靠性,... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 启动摩擦 原子力显微镜
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