中文会议： 《微米/纳米科学与技术》第5卷第1期

会议日期： 2000-06-14

会议地点： 上海

主办单位： 上海交通大学

出版方 ： 《微米/纳米科学与技术》编辑部

出版日期： 2000-06-01

出版地： 上海

作　　者： ; ; ;

机构地区： 清华大学

出　　处： 《第四届全国微米/纳米技术学术会议》

摘　　要： 在微型机电系统中元件之间会产生接触,因此磨损将影响到系统的寿命,摩擦和粘滑还会影响到装置的工作可靠性,特别是启动摩擦会影响到装置的工作稳定性.利用球盘摩擦实验装置对大气环境下多晶硅薄膜在与蓝宝石球和钢球对摩时的启动摩擦进行了研究.利用原子力显微镜(AFM)对表面形貌进行了分析.实验结果表明,当与蓝宝石球对摩时多晶硅薄膜的启动摩擦非常不稳定,但当与钢球对摩时启动摩擦则比较稳定.这种现象表明,在低载荷下的微摩擦状态,摩擦力并不与表面粗糙度很好对应,而此时摩擦的电子分量需加以考虑,其机理还需进一步研究.

关 键 词： 多晶硅薄膜 启动摩擦 原子力显微镜

分 类 号： [TN304.055]

领　　域： [电子电信]