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会议论文 MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜
出处:第三届全国先进焦平面技术研讨会
摘要:本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同Al组分AlxGa1-xN薄膜(0.13<x<0.8)。扫... 显示全部
关键词: 半导体薄膜 薄膜生长 汽相淀积
会议论文 带栅极定位镀膜硅微尖锥阵列研制及其场发射特性研究
出处:第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
摘要:本文介绍了制备带栅极定位镀膜硅微尖锥阵列的技术,并对面积为0.25mm2、40×40DLC薄膜的硅微尖锥阵列的样品... 显示全部
关键词: 冷阴极材料 半导体薄膜 硅微尖锥
会议论文 Mg掺杂的AlGaN的MOCVD生长
出处:第三届全国先进焦平面技术研讨会
摘要:本文对利用金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)方法制备的Mg掺杂AlGaN薄膜进行了研究。根据Raman光谱对Mg掺杂Al... 显示全部
关键词: 半导体薄膜 薄膜生长 汽相淀积 汞掺杂量 岛状晶核
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