摘要：运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积（microwave plasma chemical vapor deposition，M...运用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积（microwave plasma chemical vapor deposition，MPCVD）装置，以氢气和甲烷为反应气体，沉积出八个金刚石膜样品。研究了甲烷浓度对所沉积金刚石膜色度的影响。结果显示随着甲烷浓度的升高，饱和纯度和色纯度逐渐升高，甲烷浓度达到5．863％时，饱和纯度和色度纯度达到最大，分别为8．59／6和9．5％，之后随着CH4浓度的升高饱和纯度和色纯度开始下降。显示全部
