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期刊文章 集成微型速率捷联惯性测量组合测试系统
出处:测试技术学报 2002年第z2期 967-973,共7页
摘要:本文研究了基于MIMU的集成速率捷联测试系统,介绍了速率捷联系统的组成,采用微机械设计、专用集成电路设计... 显示全部
关键词: 微型惯性测量组合 速率捷联 测试系统
期刊文章 MEMS中的封装技术研究
出处:微纳电子技术 2003年第7期 235-237,共3页
摘要:MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性,因此,早期MEMS的封装大多借用半导体中现成的工艺.... 显示全部
关键词: 封装技术 芯片级封装 半导体工艺 微电子
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期刊文章 单芯片集成加速度计陀螺的研究
出处:测试技术学报 2003年第2期 156-160,共5页
摘要:讨论单片集成加速度计陀螺的结构及其工作原理, 并对单结构加速度计陀螺的加速度信号和陀螺信号的分离进行... 显示全部
关键词: 单芯片集成 加速度计 陀螺仪 静电驱动 角速度 加速度 信号检测
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