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期刊文章 钛注入钢退火中纳米相镶嵌结构的形成和表面强化
出处:中国核科技报告 1999年第S4期296-304,共9页
摘要: 透射电子显微镜观察表明,经过Ti注入的钢,表面形成了直径为3.5~20nm的FeTi2相,镶嵌在注入层中... 显示全部
关键词: 纳米相 镶嵌结构 注入层 离子注入 透射电子显微镜照片 退火温度 析出相 表面硬度 纳米结构
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期刊文章 瞬态退火过程中高密度缺陷运动对PN结漏电流影响的机理
出处:北京师范大学学报:自然科学版 1990年第1期 13-18,共6页
摘要:5×1016cm-2的As高注量注入Si时,瞬态退火过程中出现高密度缺陷.它是由超饱和As浓度的存在造成的,其分布随... 显示全部
关键词: 离子注入 半导体 退火 漏电
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期刊文章 大束斑强流金属离子源
出处:北京师范大学学报:自然科学版 1992年第2期 148-152,共5页
关键词: 离子源 真空弧放电 大束斑
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期刊文章 采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
出处:核技术 2007年第12期 971-974,共4页
摘要:采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤... 显示全部
关键词: 磁过滤 类金刚石膜 过滤电流
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