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期刊文章 超精密二维工作台自标定技术研究
出处:中国机械工程 2005年第20期 1787-1790,共4页
摘要:基于刚性运动方程和非线性最优化方法提出了一种超精密二维工作台自标定模型,研究了随机测量误差在自标定过... 显示全部
关键词: 超精密 二维工作台 自标定 测量不确定度分析
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期刊文章 三坐标精密运动平台的设计
出处:机床与液压 2006年第6期 1-3,共3页
摘要:在超精密切削、磨削、特种加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点.本... 显示全部
关键词: 超精密 工件台 运动控制 纳米
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期刊文章 用于超精密隔振的稀土超磁致伸缩致动器设计
出处:仪器仪表学报 2004年第6期 766-769,共4页
摘要:介绍了超精密隔振平台的结构和振动控制原理,设计了稀土超磁致伸缩致动器作为驱动装置,并阐明致动器的结构... 显示全部
关键词: 超磁致伸缩致动器 线圈 轴向磁场 频率特性 稀土 隔振 驱动装置 超精密 原理 平台
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