作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系

出　　处： 《机床与液压》 2006年第6期1-3,共3页

摘　　要： 在超精密切削、磨削、特种加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点。本文以三维结构的超精密加工为对象,进行了适合超精密三维结构特种加工运动平台的设计,实现了较大行程的三维精密运动。该精密运动平台也是研制超精密加工机床的基础。 On ultra precision cutting, grinding and non-traditional machining, there is a hard problem between long travel and high precision, especially in multi-coordinate machining. Aimed at tri -coordinate ultra precision machining, a stage used for tri - coordinate non - traditional machining was designed, which realizes long travel tri - coordinate ultra precision machining. The stage is also the base of designing ultra precision machine tools.

关 键 词： 超精密 工件台 运动控制 纳米

领　　域： [机械工程]