摘要:采用 N 型重掺杂硅作为微细电火花加工对象,通过选择不同电参数(空载电压120V、160V,脉宽0.25滋s、2.5滋...采用 N 型重掺杂硅作为微细电火花加工对象,通过选择不同电参数(空载电压120V、160V,脉宽0.25滋s、2.5滋s),进行对比试验,并采用 SEM 方法对工件表面及加工产物的形貌进行表征和分析,研究不同脉冲能量(最小放电脉冲能量约10-7J)对加工表面及产物的影响。试验结果表明,随着单个脉冲能量的减小,放电凹坑和加工产物尺寸显著减小,加工表面质量有所提高。显示全部