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期刊文章 SiCl4-H2沉积多晶硅薄膜过程中放电功率的影响
出处:汕头大学学报:自然科学版 2004年第4期 14-18,共5页
摘要:以SiCl4和H2为气源,用等离子体增强化学气相沉积技术,以3.5(A)/s的速率生长出了晶化度为75%的优质多晶硅薄... 显示全部
关键词: 等离子体增强化学气相沉积 多晶硅薄膜 电功率 薄膜沉积 速率 大尺寸 放电 晶粒尺寸 均匀 线性
期刊文章 真空蒸镀聚乙烯醇薄膜
出处:真空科学与技术学报 2004年第5期 359-362,共4页
摘要:采用真空蒸发沉积(蒸镀)聚乙烯醇薄膜,通过SEM和光学显微镜观察聚乙烯醇薄膜呈现典型的岛状形式并均匀分布... 显示全部
关键词: 聚乙烯醇薄膜 真空蒸镀 衬底温度 真空蒸发沉积 均匀分布 薄膜沉积 红外光谱分析 表面 化学结构
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期刊文章 稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响
出处:人工晶体学报 1999年第4期 364-367,共4页
摘要:本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响。发现在成膜过程中适当量的A... 显示全部
关键词: 燃烧焰法 金刚石薄膜 稀释气体 薄膜沉积
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