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期刊文章 离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响
出处:材料研究学报 2007年第6期 627-631,共5页
摘要:使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰... 显示全部
关键词: 无机非金属材料 离子束辅助沉积 纳米多层膜 硬度 辅助轰击能量
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期刊文章 磁控溅射制备Fe/Ti多层膜的结构和磁性
出处:金属学报 1996年第1期 85-90,共6页
摘要:用磁控溅射技术制备了系列Fe/Ti纳米多层膜,周期调制在2.2-24.0nm;用透射电镜和小角,高角X射线衍射分... 显示全部
关键词: 磁控溅射 纳米多层膜 磁性多层膜 饱和磁化强度 铁磁性 钛多层膜 结构
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期刊文章 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响
出处:真空科学与技术学报 2008年第S1期,共4页
摘要:本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD... 显示全部
关键词: 离子束辅助沉积 纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度
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期刊文章 纳米科技普遍性原理的探讨
出处:功能材料 2007年第A08期 2927-2930,共4页
摘要:在纳米科技研究中,我们有机会接触多个纳米科技领域的理论,它们都是针对纳米科技的某一领域的某个特殊问... 显示全部
关键词: 纳米科技 工程原理 普遍性 信息存储技术 半导体表面 纳米多层膜 纳米结构 超晶格物理
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期刊文章 Fe—N/Ti—N纳米多层膜结构和磁性研究
出处:真空科学与技术 1995年第4期 288-290,共3页
摘要:用磁控溅射技术制备了周期性良好的Fe-N/Ti-N纳米多层膜。Ti-N单的厚度固定为3nm,Fe-... 显示全部
关键词: 纳米多层膜 磁控溅射 磁性材料
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