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期刊文章 基于频闪干涉的微结构三维运动测量方法
出处:测控技术 2008年第6期 5-8,共4页
摘要:微机电系统中微结构特征尺寸在微米亚微米,且谐振频率可达兆赫,对其进行动态测量困难。介绍了一种基于频... 显示全部
关键词: 微结构 频闪照明 显微相移干涉 相位去包裹
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期刊文章 基于条纹图的微结构离面运动特性测量
出处:计量技术 2010年第3期3-6,共4页
摘要:为了测量微结构离面(Out—of—plane)运动特性,利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统... 显示全部
关键词: 微结构 条纹图 离面运动 滤波算法 相位去包裹
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期刊文章 MEMS动态测试系统及其数据处理
出处:光学技术 2004年第4期398-402,共5页
摘要:介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理,设计了数据分析处理算法。采用基于立方插值的... 显示全部
关键词: 微机电系统 动态测试 亚像素定位 立方样条插值 相位去包裹
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