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期刊文章 Ti/Ti-类金刚石多层膜的制备与表征
出处:物理学报 2012年第8期 452-460,共9页
摘要:采用电子回旋共振.化学气相沉积结合中频磁控溅射的真空镀膜技术,以99.99%Ti为靶材,乙炔为碳源制备了T... 显示全部
关键词: 类金刚石多层膜 电子回旋共振 化学气相沉积 调制周期
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期刊文章 退火对CNx薄膜光学性质的影响
出处:红外与毫米波学报 2003年第3期 213-216,共4页
摘要:报道了退火对电子回旋共振(ECR)辅助脉冲激光溅射方法制备的CNx薄膜样品光学性质的影响.X射线衍射(XRD)结果... 显示全部
关键词: 椭偏光谱 电子回旋共振 反常色散 拉曼散射 退火处理 射线衍射 氮碳薄膜 洛伦兹色散理论
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期刊文章 ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究
出处:润滑与密封 2012年第4期 57-61,共5页
摘要:为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 电子回旋共振 中频磁控溅射 气相沉积
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