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期刊文章 蓝宝石衬底上制备氮化硅薄膜的研究
出处:兵器材料科学与工程 2005年第5期 11-15,共5页
摘要:采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石和硅衬底上制备出Si3N4薄膜.利用XPS和FTIR分析了所制备薄膜的成分和结构,... 显示全部
关键词: 磁控反应溅射 蓝宝石 氮化硅薄膜 沉积速率
期刊文章 ECR—PECVD制备氮化硅薄膜的键态结构
出处:功能材料 2003年第1期 108-109,共2页
摘要:用红外光谱和拉曼光谱分析了用低温电子回旋共振等离子体CVD技术制备的Si3N4薄膜的键态结构.结果表明Si3N4... 显示全部
关键词: 制备 氮化硅薄膜 键态结构
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期刊文章 磁控反应溅射法低温制备氮化硅薄膜
出处:汕头大学学报:自然科学版 2003年第2期 35-39,共5页
摘要:采用射频(RF)磁控反应溅射法制备出氮化硅薄膜.从红外吸收光谱可见,氮气参加了反应并生成Si-N键,薄膜中含有... 显示全部
关键词: 氮化硅薄膜 射频磁控反应溅射法 制备过程 制备工艺 红外吸收光谱 基片温度 射频功率
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期刊文章 多晶硅太阳电池预处理及退火工艺研究
出处:太阳能学报 2014年第1期134-138,共5页
摘要:在沉积氮化硅薄膜之前采用氨气电离出氢等离子体,先对硅片进行氢等离子体预处理,通过数值分析和实验方法... 显示全部
关键词: 氮化硅薄膜 等离子体预处理 少子寿命 退火
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