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期刊文章 单晶硅微构件力学特性片上测试系统
出处:机械强度 2005年第4期 456-459,共4页
摘要:设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统.详细介绍测... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 单晶硅 片上测试 静电梳状驱动器 疲劳
期刊文章 MEMS及微机械加速度计可靠性研究
出处:电子产品可靠性与环境试验 2006年第5期 64-67,共4页
摘要:由于MEMS器件的应用日益频繁,其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。以微机械加速度... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 可靠性 微机械加速度计
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期刊文章 新型结构硅基微通道中层流换热的实验研究
出处:中国科学院研究生院学报 2005年第2期 157-163,共7页
摘要:基于热边界层中断技术,设计了一种新型的带有交错结构的、当量直径为155.3μm的微通道,以实现强化换热同时... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 热边界层中断技术 强化换热
期刊文章 空域PCR芯片/微装置中温度控制技术
出处:传感器技术 2004年第10期 8-10,13,共4页
摘要:基于微电子机械系统(MEMS)技术而发展起来的空域聚合酶链式反应(空域PCR)芯片/微装置由于其具有反应速度快... 显示全部
关键词: 聚合酶链式反应芯片 微装置 温度循环特征 设计原则 温度均一性 微电子机械系统
期刊文章 MEMS加工工艺在机械手表制造中的应用
出处:钟表 2010年第2期 117-121,共5页
摘要:上个世纪人类最伟大的进步之一是微电子技术的发展,伴随着微电子技术的发展,一项全新的技术——MEMS(Mic... 显示全部
关键词: 机械手表 加工工艺 微电子技术 微电子机械系统 应用 制造
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期刊文章 双槽电化学腐蚀法制备介孔硅的热导率
出处:半导体学报 2007年第3期 420-424,共5页
摘要:提出了一个基于有效介质理论分析介孔硅层传热机理的理论模型,对影响介孔硅有效热导率的因素包括孔隙率、... 显示全部
关键词: 理论模型 介孔硅 微喇曼光谱 有效热导率 微传感器 微电子机械系统
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期刊文章 一种新型MEMS微驱动器的设计与仿真分析
出处:传感器与微系统 2006年第12期 85-88,共4页
摘要:提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式。微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 电磁型微驱动器 双稳态 有限元法 仿真分析
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期刊文章 微电子机械系统中的若干固体力学问题
出处:力学与实践 2003年第2期 7-11,共5页
摘要:简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状,包括:微构件材料的基本力学性能;微构件的力学分析与计算... 显示全部
关键词: 微电子机械系统 固体力学 尺度效应 表面效应 失效分析 研究方向
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