作　　者： ; ; ;

机构地区： 清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室

出　　处： 《力学与实践》 2003年第2期7-11,共5页

摘　　要： 简述了微电子机械系统若干固体力学问题研究的现状,包括:微构件材料的基本力学性能;微构 件的力学分析与计算;微系统的失效分析研究;微系统的驱动等,并阐述了微系统力学问题中涉及的表面效应 和尺度效应,提出了微系统多类型力作用、多种因素交叉、多学科耦合、非线性突出的特点和研究方向. This paper reviews the state-of-the-art of researches on several solid mechanics problems in Micro-electromechanical Systems (MEMS), including the basic mechanical properties of materials, mechanical analysis of microstructures, failure analysis of microsystems and actuating mechanisms of microsystems. Different kinds of acting forces, multi-factor interactions, multi-disciplinary nature and non-linearity due to the scaling effect and surface effect are emphasized, and the future work in this field is suggested.

关 键 词： 微电子机械系统 固体力学 尺度效应 表面效应 失效分析 研究方向

领　　域： [电子电信]