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期刊文章 基于微模塑复制技术的平面线圈研制
出处:传感技术学报 2006年第05B期 1963-1966,1969,共5页
摘要:作为硅微机械技术的替代,低成本的聚合物微制作变得越来越重要。在本研究中,开发了一种微模塑工艺,用以... 显示全部
关键词: 平面线圈 微模塑 微沟槽 模版 固化
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期刊文章 聚合物基底微电机定子的研制
出处:微细加工技术 2006年第4期 34-38,共5页
摘要:介绍了一种微模塑工艺,可用于制作以聚合物为基底的微电机定子,从而提高了电机的可靠性,降低了制造成本.双... 显示全部
关键词: 平面线圈 微模塑 微沟槽 模版 固化
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