聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 射频功率对微晶硅薄膜微结构和光电性能的影响
出处:真空 2012年第4期83-86,共4页
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)技术,在玻璃和硅衬底上沉积微晶硅(μc-Si:H)薄膜。利用... 显示全部
关键词: 微晶硅薄膜 射频功率 拉曼光谱 暗电导率
在线阅读 下载全文
期刊文章 ECR-PECVD制备n型微晶硅薄膜的研究
出处:人工晶体学报 2010年第4期852-856,共5页
摘要:用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)的方法制备了磷掺杂微晶硅薄膜材料。通过Hall,Raman... 显示全部
关键词: 磷掺杂 微晶硅薄膜 霍尔测量
在线阅读 下载全文
期刊文章 拉曼光谱和红外光谱分析沉积气压对微晶硅薄膜微结构的影响
出处:光谱实验室 2012年第2期 1188-1191,共4页
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD),在玻璃和硅衬底上以230—310Pa之间的沉积气压生长微晶硅... 显示全部
关键词: 微晶硅薄膜 沉积气压 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射谱
在线阅读 下载全文
期刊文章 VHF—PECVD法氢化微晶硅薄膜的低温制备
出处:半导体学报 2002年第9期 902-908,共7页
摘要:采用VHF-PECVD方法,以高氢稀释的硅烷为反应气体,低温条件下成功地制备了系列μc-Si:H薄膜,对薄膜的厚... 显示全部
关键词: 微晶硅薄膜 甚高频等离子体增强化学气相沉积 沉积速率 结晶度
在线阅读 下载全文
期刊文章 红外光谱法研究射频功率对微晶硅薄膜微结构的影响
出处:光谱实验室 2012年第1期 537-540,共4页
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在硅衬底上以不同的射频功率生长微晶硅(μc-Si:H)... 显示全部
关键词: 微晶硅薄膜 射频功率 傅里叶变换红外透射谱
在线阅读 下载全文
找到5条结果
`