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期刊文章 微制造光刻工艺中光刻胶性能的比较
出处:半导体技术 2004年第11期 22-25,共4页
摘要:在MEMS微加工和实验过程过程中,出于制造成本、光刻胶性能的考虑,需要选用合适的光刻胶.本文介绍了常用的正... 显示全部
关键词: 微制造 光刻胶 工艺
期刊文章 微制造数控系统的实时有限状态机建模研究
出处:浙江大学学报:工学版 2005年第12期 1965-1968,1997,共5页
摘要:为提高传统有限状态机(FSM)分析微制造数控系统(NCS)实时性特征的能力,提出了一种实时有限状态机(RTFSM)模... 显示全部
关键词: 实时有限状态机 微制造 控制流程表达 时间约束网络
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期刊文章 基于快速成形的MEMS微制造技术
出处:中国机械工程 2002年第20期 1721-1723,共3页
摘要:评述了当前主要的MEMS微制造技术方法及特点,综述了基于快速成形的MEMS微制造系统的基本原理和基本结构,目... 显示全部
关键词: 快速成形 微制造 微机电系统 微细立体光刻
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期刊文章 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
出处:微细加工技术 2003年第4期 18-21,26,共5页
摘要:利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以... 显示全部
关键词: 闪耀光栅 偏晶向硅片 体硅 湿法腐蚀 微制造
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