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期刊文章 三坐标精密运动平台的设计
出处:机床与液压 2006年第6期 1-3,共3页
摘要:在超精密切削、磨削、特种加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点.本... 显示全部
关键词: 超精密 工件台 运动控制 纳米
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期刊文章 极坐标激光直写系统光轴和转轴对准的光栅反射对准法
出处:光学仪器 2004年第1期 15-18,共4页
摘要:提出一种光栅反射对准法:在极坐标激光直写系统中利用光栅反射聚焦光斑来校准光轴和工件台的转动轴;被光栅... 显示全部
关键词: 光栅反射对准法 极坐标激光直写系统 光轴 工件台 对准 转轴
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期刊文章 基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制
出处:哈尔滨工业大学学报 2014年第1期1-6,共6页
摘要:光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳... 显示全部
关键词: 光刻机 工件台 零相位跟踪控制 干扰观测器 高动态精密伺服
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