聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 同质缓冲层对ZnO薄膜光学性质的影响
出处:电子元件与材料 2006年第7期 48-51,共4页
摘要:利用射频磁控溅射技术,在单晶硅村底上生长出高质量(0002)晶面取向的ZnO外延薄膜。通过XRD、AFM、吸收光... 显示全部
关键词: 半导体技术 射频磁控溅射 薄膜 同质缓冲层
在线阅读 下载全文
期刊文章 ZnS衬底上GeC/GaP增透保护膜系的制备及红外光学性质
出处:光学学报 2006年第10期1589-1593,共5页
摘要:把GeC/GaP双层膜用作ZnS衬底的长波红外(8~11.5μm波段)增透保护膜系。采用射频磁控溅射法,以高纯Ar... 显示全部
关键词: 薄膜光学 红外增透保护膜系 射频磁控溅射 碳化锗 磷化镓
在线阅读 下载全文
期刊文章 氧含量对RF磁控溅射ZnO薄膜结构特性的影响
出处:半导体学报 2007年第z1期 160-162,共3页
摘要:采用射频(RF)磁控溅射的方法,通过改变工作气氛中氩气和氧气的比例,在Si(100)衬底上沉积出具有高度C轴择优... 显示全部
关键词: 薄膜 射频磁控溅射 分析
在线阅读 下载全文
期刊文章 射频磁控溅射高饱和磁化强度Fe-N薄膜
出处:天津大学学报:自然科学与工程技术版 2005年第7期 573-576,共4页
摘要:用射频磁控溅射法分别在具有20 nm Fe衬底的Si(100)和NaCl单晶基片上成功地制备出具有高饱和磁化强度的Fe-N... 显示全部
关键词: 薄膜 饱和磁化强度 射频磁控溅射
期刊文章 溅射功率对Sb薄膜负极材料循环性能的影响
出处:电源技术 2009年第8期 652-654,共3页
摘要:采用射频磁控溅射法分别在100、200、300W和400W功率下制备了4种锂离子电池用Sb薄膜负极材料。通过X射线衍... 显示全部
关键词: 锂离子电池 负极 射频磁控溅射 溅射功率
在线阅读 下载全文
期刊文章 射频磁控溅射制备Sn薄膜及其电化学性能研究
出处:功能材料 2010年第12期2072-2074,2079共4页
摘要:采用射频磁控溅射方法在铜基片上制备了锡薄膜,把在两种溅射功率(200和350W)下制备的Sn薄膜制成锂离子电... 显示全部
关键词: 射频磁控溅射 锂离子电池 负极材料
在线阅读 下载全文
期刊文章 衬底离子束表面氮化对ZnO薄膜性质的影响
出处:材料导报 2006年第7期 123-125,共3页
摘要:采用射频磁控溅射法在抛光硅片上沉积了一系列ZnO薄膜样品。通过对薄膜样品X射线衍射谱的分析、原子力显微... 显示全部
关键词: 射频磁控溅射 薄膜 离子束轰击 衬底表面氮化
在线阅读 下载全文
期刊文章 射频磁控溅射法制备Zn_(1-x)Mg_xO薄膜及其性能的研究
出处:人工晶体学报 2011年第5期 1261-1265,共5页
摘要:本文通过在ZnO靶材上放置高纯Mg片,运用射频磁控溅射法在普通玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.1,0.16,0.18,... 显示全部
关键词: 射频磁控溅射 薄膜 禁带宽度
在线阅读 下载全文
期刊文章 掺氢GaAs薄膜的表面形貌及光学性质研究
出处:云南大学学报:自然科学版 2005年第S3期609-612,共4页
摘要: 采用射频磁控溅射和沉积气氛掺氢工艺制备了GaAs薄膜,研究掺氢对薄膜的表面形貌及光学性质的影响.X射线衍... 显示全部
关键词: 射频磁控溅射 薄膜 气氛掺氢 吸收光谱 氢钝化
在线阅读 下载全文
期刊文章 射频磁控溅射法制备氧化镱薄膜
出处:稀有金属材料与工程 2007年第A03期 82-85,共4页
摘要:利用射频磁控溅射法,以高纯氧化镱(Yb2O3)为靶材,成功地制备出了Yb2O3薄膜,并对薄膜的沉积速率、成分... 显示全部
关键词: 射频磁控溅射 氧化镱 薄膜
在线阅读 下载全文
找到12条结果
`