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期刊文章 旋转体自身驱动的硅微机械陀螺
出处:中国工程科学 2006年第8期 23-27,共5页
摘要:报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感... 显示全部
关键词: 各向异性腐蚀 角速度 仿真器
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期刊文章 真空微电子压力传感器的研制
出处:光学精密工程 2004年第6期 603-607,共5页
摘要:提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器.对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了... 显示全部
关键词: 压力传感器 过载保护 场致发射阴极锥尖阵列 各向异性腐蚀
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期刊文章 UFPA器件微桥腐蚀工艺的研究
出处:华中科技大学学报:自然科学版 2007年第2期 74-76,共3页
摘要:利用硅单晶的各向异性腐蚀技术,研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺.采用独特的腐蚀装置在厚度为300μm的硅... 显示全部
关键词: 非制冷红外焦平面阵列 微桥 各向异性腐蚀 腐蚀装置
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