摘要：本文设计了大视场二维激光扫描系统。扫描系统以多面体转镜作为扫描器,F-θ透镜作聚焦系统。F-θ透镜不同于...本文设计了大视场二维激光扫描系统。扫描系统以多面体转镜作为扫描器,F-θ透镜作聚焦系统。F-θ透镜不同于普通的光学透镜,通常用于激光扫描系统,将激光束聚焦,利用其线性扫描特性实现线性扫描,系统的扫描特性主要决定于 F-θ透镜的聚焦特性。所设计的 F-θ透镜系统实现了 x 方向356mm 视场的扫描,分辨率达到35微米,y 方向通过滚珠丝杠实现无限长度扫描。用 CODE V 进行了光学系统性能评价,系统的聚焦特性在整视场达到了衍射极限并满足系统要求。在现有的实验条件下,对光学聚焦系统进行了检测,在不同视场下的聚焦光斑直径都约为30μm,与光学系统理论设计参数基本吻合,而且符合F-θ特性,达到了预期性能。显示全部
