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文献详细Journal detailed

大视场激光扫描系统
Laser Scanning System of Large Field

作  者: ; ; ; ;

机构地区: 深圳大学光电子学研究所

出  处: 《深圳特区科技》 2005年第11期2-7,共6页

摘  要: 本文设计了大视场二维激光扫描系统。扫描系统以多面体转镜作为扫描器,F-θ透镜作聚焦系统。F-θ透镜不同于普通的光学透镜,通常用于激光扫描系统,将激光束聚焦,利用其线性扫描特性实现线性扫描,系统的扫描特性主要决定于 F-θ透镜的聚焦特性。所设计的 F-θ透镜系统实现了 x 方向356mm 视场的扫描,分辨率达到35微米,y 方向通过滚珠丝杠实现无限长度扫描。用 CODE V 进行了光学系统性能评价,系统的聚焦特性在整视场达到了衍射极限并满足系统要求。在现有的实验条件下,对光学聚焦系统进行了检测,在不同视场下的聚焦光斑直径都约为30μm,与光学系统理论设计参数基本吻合,而且符合F-θ特性,达到了预期性能。

关 键 词: 光学设计 激光扫描 透镜 二维大视场

领  域: [电子电信] [电子电信] [自动化与计算机技术] [自动化与计算机技术]

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