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期刊文章 射频辉光放电硅烷等离子体的光发射谱研究
出处:光电子.激光 2003年第4期 375-379,共5页
摘要:通过对RF-PECVD技术沉积氢化非晶/微晶硅(a-Si:H/μc-Si:H)薄膜沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体的光发射谱(OE... 显示全部
关键词: 氢化非晶 微晶硅 射频辉光放电 硅烷等离子体 光发射谱
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期刊文章 VHF-PECVD法高速率沉积氢化微晶硅薄膜
出处:太阳能学报 2004年第2期 127-132,共6页
摘要:采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)生长过程... 显示全部
关键词: 光发射谱 氢化微晶硅薄膜 甚高频等离子体化学气相沉积 高速沉积
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期刊文章 VHF等离子体光发射谱(OES)的在线监测
出处:物理学报 2003年第9期 2324-2330,共7页
摘要:采用光发射谱(OES)测量技术,对不同制备条件下的甚高频(VHF)等离子体辉光进行了在线监测.实验表明,VHF等离... 显示全部
关键词: 甚高频等离子体辉光 光发射谱 在线监测 技术 甚高频等离子体化学气相沉积 硅基薄膜 太阳能电池
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