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期刊文章 拉曼光谱和红外光谱分析沉积气压对微晶硅薄膜微结构的影响
出处:光谱实验室 2012年第2期 1188-1191,共4页
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD),在玻璃和硅衬底上以230—310Pa之间的沉积气压生长微晶硅... 显示全部
关键词: 微晶硅薄膜 沉积气压 拉曼光谱 傅里叶变换红外透射谱
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期刊文章 红外光谱法研究射频功率对微晶硅薄膜微结构的影响
出处:光谱实验室 2012年第1期 537-540,共4页
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在硅衬底上以不同的射频功率生长微晶硅(μc-Si:H)... 显示全部
关键词: 微晶硅薄膜 射频功率 傅里叶变换红外透射谱
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