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期刊文章 表面势垒对俄歇电子极角分布的影响
出处:真空科学与技术学报 1991年第4期223-227,共5页
摘要: 本文根据电子在固体与真空界面的折射反射效应及立体角元的变化,讨论了表面势垒对俄歇电子极角分布的影响,... 显示全部
关键词: 俄歇电子 极角 表面势垒 分布公式 角分布 量大小 单晶材料 电子散射 出射角 表面偏析
期刊文章 PECVD SiC薄膜的AES研究
出处:真空科学与技术学报 1989年第3期189-192,共4页
摘要: 本文介绍用俄歇电子能谱对等离子增强化学气相淀积非晶碳化硅薄膜进行组分的定量分析、深度剖析和元素的化... 显示全部
关键词: 硅薄膜 化学气相淀积 非晶碳 化学状态 衬底温度 光学带隙 介质薄膜 俄歇电子
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