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期刊文章 二氧化锡薄膜气敏传感器对常见室内污染气体的电阻-温度特性及机理分析
出处:传感技术学报 2005年第1期 47-49,52,共4页
摘要:采用无机试剂(SnCl2·2H2O)为原料,用溶胶-凝胶提拉法制备了二氧化锡薄膜及相应的气敏传感器,并研究了二氧... 显示全部
关键词: 二氧化锡薄膜 气敏传感器 溶胶 凝胶法 电阻 温度曲线
期刊文章 二氧化锡薄膜的PECVD制备和特性
出处:暨南大学学报:自然科学与医学版 1997年第3期
摘要:用PECVD方法制备出二氧化锡薄膜,利用双探针技术诊断出等离子体反应器内电子密度的分布,并分析了它... 显示全部
关键词: 二氧化锡薄膜 透射电镜 方块电阻 气敏性
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