作 者：
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(陈向军）;
机构地区：
暨南大学理工学院物理学系
出 处：
《暨南大学学报：自然科学与医学版》
1997年第3期
摘 要：
用ＰＥＣＶＤ方法制备出二氧化锡薄膜，利用双探针技术诊断出等离子体反应器内电子密度的分布，并分析了它对薄膜电阻的影响．透射电镜分析表明随沉积温度升高，二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态，其电阻率随之减小．掺锑的二氧化锡薄膜对石油液化气和酒精具有良好的气敏效应
关 键 词：
二氧化锡薄膜
透射电镜
方块电阻
气敏性
分 类 号：
[TN304.9]
领 域：
[电子电信]
