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会议论文 氧、氩分压对直流反应溅射制备ZAO薄膜的性能影响
出处:第九届全国光电技术学术交流会
摘要:采用直流反应磁控溅射技术,制备获得ZAO薄膜,研究氧分压、氩分压关键制备工艺参数对ZAO薄膜的组织结构、... 显示全部
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