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会议论文 P型ZnO薄膜的磷扩散制备与表征
出处:2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会
摘要:应用射频磁控溅射的方法,将ZnO薄膜沉积于高磷掺杂的Si衬底上.在沉积和后退火过程中,磷向ZnO薄膜扩散,使ZnO... 显示全部
关键词: 硅衬底 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 磷扩散法
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