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会议论文 离子束溅射制备Sb2Te3热电薄膜
出处:TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正>本文采用离子束溅射技术交替沉积Sb-Te-Sb多层薄膜后进行高真空热处理,直接制备Sb2Te3薄膜。利用X射线... 显示全部
会议论文 基底温度对离子束溅射法制备AZO透明导电薄膜的影响
出处:TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正>以ZnO(掺杂2%Al2O3)陶瓷靶作为靶材,采用离子束溅射技术在玻璃基底上成功制备了AZO薄膜透明导电薄膜... 显示全部
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