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会议论文 两个Si、O混合系统势函数的分子动力学模拟现象
出处:2004年中国机械工程学会学术年会
摘要:在制作硅片的化学机械抛光中,纳米二氧化硅颗粒与加工硅片的相互作用决定了材料的去除方式.Umeno势和Watana... 显示全部
关键词: 势函数 分子动力学 二氧化硅颗粒 硅片 抛光
会议论文 非圆齿轮多齿轮泵原理及其流量特性
出处:2004年中国机械工程学会学术年会
摘要:本文提出了一种基于非圆齿轮的多齿轮泵,并讨论了其流量特性.非圆齿轮的径向尺寸是连续变化的,依靠这种径向... 显示全部
关键词: 齿轮泵 非圆齿轮 高阶椭圆齿轮 流量特性
会议论文 基于实体建模的柔轮强度有限元分析
出处:2004年中国机械工程学会学术年会
摘要:基于仿真实体柔轮,在与试验和传统理论计算的对比中对柔轮产品的应力、应变、变形和疲劳位置、强度,做了较... 显示全部
关键词: 实体建模 柔轮 疲劳强度 有限元
会议论文 多功能真空键合设备的研制
出处:2004年中国机械工程学会学术年会
摘要:圆片键合技术是MEMS制作与封装技术中重要的工艺方法.它是指通过化学和物理作用将硅片与硅片、硅片与玻璃或... 显示全部
关键词: 圆片键合 阳极键合 金硅键合 微机械加工
会议论文 基于实际切齿方法的螺旋锥齿轮齿面反求
出处:2004年中国机械工程学会学术年会
摘要:发展了格利森制螺旋锥齿轮实际切制过程的模拟方法,利用展成法的原理得到实际加工螺旋锥齿轮上的点,利用反... 显示全部
关键词: 螺旋锥齿轮 反求工程 机床加工 计算机仿真
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