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会议论文 MOCVD法制备NiO薄膜的结构和光学特性研究
出处:第十二届全国MOCVD学术会议
摘要:<正>采用双卤钨灯金属有机化学气相沉积法(PA-MOCVD)在Si衬底上制备了NiO薄膜。XPS测试结果显示(图2),薄膜... 显示全部
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