聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 MOCVD生长不同Al组分AlGaN薄膜
出处:第三届全国先进焦平面技术研讨会
摘要:本文研究了利用金属有机物化学汽相淀积系统(MOCVD)生长高质量不同Al组分AlxGa1-xN薄膜(0.13<x<0.8)。扫... 显示全部
关键词: 半导体薄膜 薄膜生长 汽相淀积
会议论文 Mg掺杂的AlGaN的MOCVD生长
出处:第三届全国先进焦平面技术研讨会
摘要:本文对利用金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)方法制备的Mg掺杂AlGaN薄膜进行了研究。根据Raman光谱对Mg掺杂Al... 显示全部
关键词: 半导体薄膜 薄膜生长 汽相淀积 汞掺杂量 岛状晶核
找到2条结果
`