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会议论文 脉冲工艺在薄膜制备中的应用
出处:中国真空学会薄膜技术学术研讨会
摘要:本文综述了国内外脉冲工艺在电弧离子镀和磁控溅射中的应用.脉冲工艺为电弧离子镀净化大颗粒、增强膜基结合... 显示全部
关键词: 电弧离子镀 脉冲工艺 低温沉积 磁控溅射
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