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会议论文 高结合强度类金刚石膜的制备与性能研究
出处:2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议
摘要:磁过滤阴极弧沉积技术可以在室温下制备高质量类金刚石薄膜,薄膜的sp3键含量高达85%,具有优异的性能如极... 显示全部
关键词: 类金刚石薄膜 高结合强度 磁过滤阴极弧沉积 离子注入
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