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会议论文 高离化磁控溅射技术的高速沉积
出处:粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会
摘要:由于高的溅射材料离化率,HiPIMS已经成为PVD镀膜研究领域炙手可热的技术,自从CemenCon推出第一代基于HiPIMS... 显示全部
关键词: 高离化率 [9206150]磁控溅射 [317979]电源 [6673751]放电 [1024254]阴极
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