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会议论文 多晶硅薄膜的制备与表征
出处:中国第七届光伏会议
摘要:以多晶硅片为衬底,在快热化学气相沉积(RTCVD)设备上,通过外延生长的方式制得多晶硅薄膜,并利用扫描电镜(SE... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 化学气相沉积 颗粒硅带 外延生长 薄膜制备 形貌结构
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