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会议论文 铜基底CVD微晶金刚石场致发射特性及接触性质研究
出处:第四届中国功能材料及其应用学术会议
摘要:用微波等离子化学气相沉积法(MPCVD)在无氧铜基底上沉积微晶金刚石制作场发射冷阴极阵列(FEA),研究场致发射... 显示全部
关键词: 场发射 金刚石薄膜 负电特性 铜基底 欧姆接触 电子发射材料
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