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会议论文 缓冲层对VO2薄膜光电特性的影响
出处:中国真空学会2014学术年会
摘要:采用直流反应磁控溅射工艺制备了VO2薄膜。对比了在K9玻璃基底上,TiO2及V缓冲层对氧化钒薄膜的影响。XRD及... 显示全部
关键词: 薄膜 缓冲层半导体 金属相变 磁控溅射
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