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会议论文 ITO透明导电薄膜的低温直流磁控反应溅射
出处:1998年中国材料研讨会
摘要:该文利用直流磁控反应溅射铟锡合金靶在未加热的聚脂膜、玻璃和硅衬底上制备了ITO透明导电薄膜。研究了... 显示全部
关键词: 磁控溅射 导电薄膜 透明导电薄膜
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