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会议论文 Si元素掺杂对含氢类金刚石涂层热稳定性的影响
出处:粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会
摘要:使用等离子增强化学气相沉积(PECVD)在304不锈钢基体表面制备含硅和不含硅类金刚石(DLC)涂层。采用拉曼光谱... 显示全部
关键词: [5406993]类金刚石薄膜 [3280847]热稳定性 硬度 膜基结合力
会议论文 铁基表面金刚石薄膜研究现状
出处:第二届表面工程技术产业化学术交流会
摘要:本文分析了影响铁基表面沉积金刚石膜的主要因素,讨论了改善膜基结合力的各种表面预处理的方法,介绍了近年... 显示全部
关键词: 金刚石薄膜 铁基表面沉积 表面处理 膜基结合力
会议论文 AlCrN过渡层对金刚石薄膜生长行为和结合力的影响
出处:粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会
摘要:采用热丝CVD法在硬质合金基体上制备金刚石涂层,研究对比传统酸碱二步法和添加AlCrN过渡层这两种方法对金刚... 显示全部
关键词: [4937585]金刚石涂层 [3279435]热丝法 AlCrN过渡层 酸碱二步法 膜基结合力
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