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会议论文 氧气压力对脉冲激光沉积ZNO薄膜的形貌及光学性质影响
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SIO2)和单晶硅(111)基底上制备了具有C轴择优取向的ZNO薄膜。采用X射线衍... 显示全部
关键词: 氧气压力 脉冲激光沉积 光学性质 氧化锌薄膜 光学透过率
会议论文 脉冲激光沉积制备PLZT薄膜表面缺陷的生长机理研究
出处:TFC’15全国薄膜技术学术研讨会
摘要:锆钛酸铅镧(PLZT)是一种典型的铁电材料,具有优良的自发极化特性和介电性能,被广泛应用于微电子学、微电子... 显示全部
关键词: 锆钛酸铅镧 脉冲激光沉积 表面龟裂 大颗粒
会议论文 氧气压力对PLD ZnO薄膜形貌及光学性质影响
出处:第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议
摘要:使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SiO2)和单晶Si(111)基底上制备了具有c轴择优取向的ZnO薄膜。采用X... 显示全部
关键词: 氧气压力 脉冲激光沉积 氧化锌
会议论文 La<,0.5>Sr<,0.5>CoO<,3>薄膜的外延生长及其电性能的研究
出处:中国科协首届学术年会
摘要:<正>La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)具有优良的导电性和化学稳定性,用作薄膜电极可明显地改善铁电薄膜的寿命和疲劳... 显示全部
关键词: 薄膜生长 脉冲激光沉积 半导体材料 电性能 外延生长
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