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会议论文 聚脂膜衬底上类金刚石薄膜的XPS研究
出处:第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
摘要:XPS和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在PET表面注入或沉积碳(C),表面形成了类金刚石薄膜.根据ClsXPS... 显示全部
关键词: 聚脂膜衬底 金刚石薄膜 离子注入 光电子能谱
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