中文会议：
第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会论文集
会议日期：
2003-10-22
会议地点：
北京
主办单位：
中国电子学会
作 者：
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机构地区：
北京师范大学
出 处：
《第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会》
摘 要：
XPS和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在PET表面注入或沉积碳(C),表面形成了类金刚石薄膜.根据ClsXPS谱直接计算出了sp3的含量.与衬底PET相比,表面薄膜硬度提高了1个量级.
关 键 词：
聚脂膜衬底
金刚石薄膜
离子注入
光电子能谱
分 类 号：
[TN]
领 域：
[电子电信]
