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会议论文 HWE生长条件对CdTe/Si薄膜结构特性的影响
出处:第九届中国太阳能光伏会议
摘要:本文研究了热壁外延生长条件对Si(100)衬底上沉积外延的多晶CdTe薄膜的晶粒尺寸和取向的影响.用SEM和XRD技... 显示全部
关键词: 热壁外延 生长条件 薄膜 结构特性
会议论文 热壁外延碲化镉薄膜的光学特性
出处:第九届中国太阳能光伏会议
摘要:用热壁外延的方法,在清洁的玻璃衬底上外延生长了不同厚度的CdTe薄膜,对其结构和薄膜的本征吸收光学特性进... 显示全部
关键词: 热壁外延 光学特性 结构特性 碲化镉薄膜
会议论文 氢化微晶硅薄膜的VHF-PECVD法制备与等离子体诊断
出处:第九届中国太阳能光伏会议
摘要:采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,在不同等离子体激发频率条件下制备了氢化微晶硅(μc-... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 化学气相沉积 等离子体诊断 沉积速率 结构特性
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